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日本Engis平坦度測量儀器是針對拋光定盤之平面高低進行確認工具，能觀察拋光定盤之變形量，而測量所得數值為修整拋光定盤之依據，用以調整超精密拋光定盤修整器或是鑽石電鍍修正環修整之移除量，並且可判斷拋光定盤之凹凸變形狀態，做為拋光加工製程之改善參考。
可選購測量儀用之花崗石校正定盤，在測量前可自行實施校正。