日本制离子源之钼电极板

本公司代理进口日本制造的离子源（ Ion source ）栅极组件，为三片一套的钼电极板(Mo Grid)，依序分别为遮蔽电极 ( SG )、加速电极 ( AG )及减速电极 ( DG )，并经过专业特殊之表面曲率成型加工及精密钻孔加工。

离子源之钼电极板(Mo Grid)特别使用於高阶的光学镀膜制程中，例如光学镜片工厂采用的离子辅助蒸镀 (Ion-beam Assisted Deposition ) 等相关离子源设备。