日本Engis精密抛光治具
日本Engis经过多年精密研磨抛光丰富之经验， 超精密抛光制程不只需要搭配优良抛光设备、 合适抛光耗材及专业知识，并更加需要更适合 抛光治具，才能达到事半功倍效果进而提高产品良率。日本Engis依照各工件材质之不同特性及精度要求，考虑其操作方便性以及配重等抛光知识，经过不断地实际抛光及实验后研究开发出各式各样精密抛光治具，例如 :简易型自动定位治具、需要角度抛光治具、基板用真空吸附治具、各式承载夹治具及基板抛光用陶瓷盘等 。
ASF138 定寸治具 :
用於研磨半导体，结晶物及化合物等基板的厚度控制，可以自行调整所需的研磨移除量，并可加装真空吸附装置用於固定工件，治具适用於研磨2~4inch 工件。
日本Engis平坦度测量仪
日本Engis平坦度测量仪器是针对抛光定盘之平面高低进行确认工具，能观察抛光定盘之变形量，而测量所得数值为修整抛光定盘之依据，用以调整超精密抛光定盘修整器或是钻石电镀修正环修整之移除量，并且可判断抛光定盘之凹凸变形状态，做为抛光加工制程之改善参考。
可选购测量仪用之花岗石校正定盘，在测量前可自行实施校正。
可选购测量仪用之花岗石校正定盘，在测量前可自行实施校正。
日本Engis光学平镜组
日本Engis光学平镜组取代氦光单色灯之新式光学平镜组，一般可用来检验研磨抛光加工后之工件，是利用光波干涉原理以光学平镜与工件表面之反射形成明暗相间色带的干涉条纹数等来进行观察分析，若工件表面太粗糙，有可能无法检验。日本Engis光学平镜组是采用绿光单色灯(波长 546nm)，可以在光学平镜上清晰地显示干涉条纹。
