日本Engis精密拋光治具
日本Engis經過多年精密研磨拋光豐富之經驗， 超精密拋光製程不只需要搭配優良拋光設備、 合適拋光耗材及專業知識，並更加需要更適合 拋光治具，才能達到事半功倍效果進而提高產品良率。日本Engis依照各工件材質之不同特性及精度要求，考慮其操作方便性以及配重等拋光知識，經過不斷地實際拋光及實驗後研究開發出各式各樣精密拋光治具，例如 :簡易型自動定位治具、需要角度拋光治具、基板用真空吸附治具、各式承載夾治具及基板拋光用陶瓷盤等 。
ASF138 定寸治具 :
用於研磨半導體，結晶物及化合物等基板的厚度控制，可以自行調整所需的研磨移除量，並可加裝真空吸附裝置用於固定工件，治具適用於研磨2~4inch 工件。
日本Engis平坦度測量儀
日本Engis平坦度測量儀器是針對拋光定盤之平面高低進行確認工具，能觀察拋光定盤之變形量，而測量所得數值為修整拋光定盤之依據，用以調整超精密拋光定盤修整器或是鑽石電鍍修正環修整之移除量，並且可判斷拋光定盤之凹凸變形狀態，做為拋光加工製程之改善參考。
可選購測量儀用之花崗石校正定盤，在測量前可自行實施校正。
可選購測量儀用之花崗石校正定盤，在測量前可自行實施校正。
日本Engis光學平鏡組
日本Engis光學平鏡組取代氦光單色燈之新式光學平鏡組，一般可用來檢驗研磨拋光加工後之工件，是利用光波干涉原理以光學平鏡與工件表面之反射形成明暗相間色帶的干涉條紋數等來進行觀察分析，若工件表面太粗糙，有可能無法檢驗。日本Engis光學平鏡組是採用綠光單色燈(波長 546nm)，可以在光學平鏡上清晰地顯示干涉條紋。
